S波段窄带带通体声波滤波器设计

• 作者: 赵坤丽 韩超 高杨
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 体声波 滤波器 薄膜体声波谐振器 变迹电极 声-电磁协同仿真 布局
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 95-101
• 页数: 7页
• 分类号: TN713|TN603.5
• 字数: 2927字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201729.170195

摘要

针对无人机测控应用设计了一种S波段窄带带通体声波(BAW)滤波器,其技术指标为:中心频率2.46 GHz,带宽41 MHz,带内插损大于-3 dB,带内纹波小于1 dB,带外抑制小于-40 dB@2.385 GHz和2.506 GHz.采用Mason模型设计了BAW滤波器中各薄膜体声波谐振器(FBAR)的叠层结构;使用变迹法设计了各FBAR(电极)的形状;采用一种自行开发的自动布局方法得到紧凑的BAW滤波器布局;建立了BAW滤波器的声-电磁协同仿真模型,通过这种高保真的多物理场仿真方法对设计结果进行了性能验证.该设计流程是通用的,并且有两个特点:采用声-电磁协同仿真方法对设计阶段的BAW滤波器进行最终性能检验,可以及早发现并拒绝1D Mason模型过于乐观的设计;滤波器布局设计中采用了一种新的自动化布局方法,大大简化了在此阶段的反复尝试工作,也为声-电磁协同仿真模型输出了必需的面内结构信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	韩超	西南科技大学信息工程学院	11	14	2.0	3.0
3	赵坤丽	中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室	3	7	2.0	2.0