改良西门子法生产多晶硅的还原工艺研究

• 作者: 方旭升 浦晓东 罗旭峰 贾曦
• 来源期刊: 现代化工
• 学科: 工学
• 关键词: 改良西门子法 多晶硅 还原 加压 电耗 品质
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 175-177
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2566字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2017.12.042

摘要

改进多晶硅还原炉生产工艺,操作压力由0.05～0.1 MPa提高到0.5 MPa,控制合适的温度、供料量和配比,获得了综合性能优良的生产工艺.综合指标最优的实验炉次,生产周期由200 h缩短到100 h,电单耗由150 kWh/kg降低到73.8 kWh/kg;产品表观质量和纯度也得到显著提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾曦		25	22	4.0	4.0
2	方旭升		2	12	2.0	2.0
3	罗旭峰		2	12	2.0	2.0
4	浦晓东		2	6	1.0	2.0