一种新型宽氧阈低功耗氢气传感器系统的研制

• 作者: 刘琦 官德斌 杨芳 王新锋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 宽氧阈 低功耗 氢气传感器 MEMS技术 LabVIEW
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 618-622
• 页数: 5页
• 分类号: TB14
• 字数: 3463字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.04.023

摘要

设计开发了一种基于MEMS技术的多通道氢气传感器系统,利用LabVIEW虚拟仪器平台对传感变送信号进行采集、存储、处理和数据分析.敏感材料分别选用n型半导体和p型半导体共6种掺杂金属氧化物,传感器件采用平面光刻及硅微加工工艺,集成了加热、测温及敏感等功能,功耗小于20 mW;传感器系统可实现0~1%范围内氢气的检测,且适用于常量氧及低氧条件下的氢气检测,有望在航空航天、国防领域及公共安全等方面得到广泛应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王新锋	中国工程物理研究院化工材料研究所	21	163	9.0	12.0
2	杨芳	中国工程物理研究院化工材料研究所	6	1	1.0	1.0
3	刘琦	中国工程物理研究院化工材料研究所	6	6	1.0	2.0
4	官德斌	中国工程物理研究院化工材料研究所	8	15	2.0	3.0