金刚石线切割太阳电池多晶硅片绒面的分析

• 作者: 王发辉
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石线切割 酸刻蚀 绒面形貌
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 234-235,249
• 页数: 3页
• 分类号: TM615
• 字数: 2198字
• 语种: 中文

摘要

采用HF/HNO3酸刻蚀液对金刚石线切割太阳电池多晶硅片进行制绒研究,对比分析了刻蚀液浓度、刻蚀时间以及以H2O和CH3COOH为添加剂等因素下的多晶硅片绒面形貌特性.结果表明:富HF体系,金刚石线切割多晶硅片表面的划痕加深,但其表面刻蚀效果较好;富HNO3体系,金刚石线切割多晶硅片表面往复纹微消除,而表面制绒效果不佳;然而,随着时间延长,富HF和富HNO3刻蚀多晶硅片表面腐蚀坑均由较小凹坑状逐渐变大,最终形成条状腐蚀坑;与H2O为添加剂相比,CH3COOH下的硅片表面腐蚀坑分布较均匀.研究成果为金刚石线切割技术应用于多晶硅片提供了技术支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王发辉	新余学院新能源科学与工程学院	5	4	1.0	1.0