基于LTCC的无线无源双参数传感器

• 作者: 伍国柱 唐顺 宋瑞佳 熊继军 王海星 谭秋林
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无线无源 双参数 LC传感器 LTCC 互感串扰
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 无线传感器技术
• 页码范围: 592-595
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.04.019

摘要

设计了一个基于低温共烧陶瓷(LTCC)技术的无线无源双参数传感器,传感器基于LC(inductor-Capacitor)谐振原理,询问天线通过无线遥测的方式获取传感器的压力和温度信号.在传感器基板上集成了两个LC谐振回路,谐振回路中两个电容分别对压力和温度参数敏感,同时两电感采用特殊结构来减少双参数在测试时的互感串扰.搭建了温度-压力复合测试平台,对传感器进行了相关测试.传感器最高测试温度为300 ℃,温度灵敏度为-14.27 kHz/℃,压力灵敏-13.75 kHz/kPa,实验结果表明,这种设计能明显减少两参数之间的互感影响.