彩色共焦系统可调制色散物镜设计

• 作者: 余卿 叶瑞芳 崔长彩 李煌
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面形貌检测 彩色共聚焦 色散物镜 轴向色散 轴向分辨率
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 875-883
• 页数: 9页
• 分类号: TN247
• 字数: 3250字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172504.0875

摘要

针对彩色共焦距测量系统中测量范围和分辨率的调制问题,采用色散和聚焦功能分离的思路设计了一款色散物镜,其色散功能由纯球面折射透镜组成的色散管镜来实现,聚焦功能则采用商业物镜实现.使用ZEMAX软件对色散管镜的结构、材料及像差进行了设计及优化,仿真结果显示所设计的色散管镜在可见光范围内能获得优于230 mm的轴向线性色散,实际加工的成品管镜的轴向线性色散范围可达160 mm.实验测量了色散管镜及它结合不同聚焦物镜后的色散特性.实验结果表明,色散管镜结合不同聚焦能力的物镜能够具有高线性度的轴向色散区域;结合4倍和10倍放大倍率的商用物镜,分别获得了1 300 μm和225 μm的测量范围,其轴向分辨率分别为2 μm和0.4 μm,实现了测量范围和分辨率的调制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔长彩	华侨大学制造工程研究院	55	459	12.0	20.0
2	叶瑞芳	华侨大学机电及自动化学院	19	60	4.0	7.0
3	余卿	华侨大学机电及自动化学院	21	61	4.0	7.0
7	李煌	华侨大学制造工程研究院	1	2	1.0	1.0