大口径非球面反射镜误差分离组合加工技术

• 作者: 刘振宇 张学军 曾雪峰 李龙响 罗霄
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学加工 误差分离 组合加工 高阶误差 低阶误差
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 813-819
• 页数: 7页
• 分类号: TG74
• 字数: 3188字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172504.0813

摘要

为了解决大口径非球面反射镜材料去除效率与面形收敛效率之间的矛盾,提出了基于高低阶面形误差分离的组合加工技术.首先,分析了不同尺寸磨头对不同周期面形误差的控制能力.然后,比较了不同磨头的收敛效率与加工时间之间的关系.最后,根据大口径非球面反射镜加工过程中面形误差的特点,将大口径非球面反射镜的面形误差分离为低阶面形误差与高阶面形误差,使用不同加工方式分别对高、低阶面形误差驻留时间进行求解.通过多种加工方式组合加工的方法建立了具有针对性的加工策略,有效提高加工效率.结合工程实例,对一块口径为2.04 m的非球面SiC反射镜进行了加工试验,单个组合加工周期内面形收敛效率达到61.2%.结果表明,高阶与低阶面形误差均得到较好的去除.材料去除效率与面形收敛效率均得到提高,达到了良好的效果,满足加工需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘振宇	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心	159	3059	31.0	48.0
2	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心	124	1634	25.0	33.0
3	罗霄	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心	8	23	3.0	4.0
4	李龙响	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心	3	8	1.0	2.0
5	曾雪峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心	1	8	1.0	1.0