基于不同量程的MEMS加速度传感器综合测试系统研究

• 作者: 刘陆燕 陈君
• 来源期刊: 物联网技术
• 关键词: MEMS加速度传感器 测试方法 测试系统 测试平台
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 全面感知
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.16667/j.issn.2095-1302.2017.10.005

摘要

针对MEMS加速度传感器测试方法不统一,测试要求多样化的问题,对加速度传感器按照量程进行细化,从测试方法和测试系统入手,研发出一套多量程的MEMS加速度计静态和动态及其温度特性的综合测试系统,搭建了一个多形态MEMS加速度传感器的统一测试平台,适应不同类型加速度传感器的测试需求,从而提升测试效率,降低测试成本,缩短研发测试周期,有助于MEMS传感器产业的迅速发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘陆燕		2	0	0.0	0.0
2	陈君		1	0	0.0	0.0