基于窄带水平集算法的三维表面工艺模拟系统

• 作者: 余嘉程 周再发 李宁 黄庆安
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 仿真系统 三维表面微机械加工工艺 窄带水平集
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 500-505
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.04.003

摘要

表面工艺是MEMS制造的一种重要方法,实现其加工过程的计算机仿真可以为相关MEMS工艺研究和器件开发提供技术支持,减少相关MEMS产品的开发成本,缩短其开发周期.基于窄带水平集算法完成了表面加工工艺的三维表面工艺模拟系统.窄带水平集算法稳定,计算速度快处理拓扑变形非常灵活,本文将其应用于该软件仿真系统中,并进行了一列的仿真实验,将仿真结果与实际的流片电镜图对比,验证了仿真系统的精确性.