氧化锡气敏薄膜的喷墨打印技术研究

• 作者: 余隽 吴昊 唐祯安 李中洲 杨英花
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 喷墨打印 气体传感器 微热板 气敏薄膜
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 496-499
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.92
• 字数: 2898字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.04.002

摘要

喷墨打印技术具有无需掩膜图形化、室温加工、方便操作等优点.利用喷墨打印技术在微热板上打印SnO2多孔薄膜.根据打印机的定位精度和微热板的悬空尺寸设计了打印图形,根据目标厚度确定打印层数,以及打印后的干燥工艺参数;通过扫描电镜对薄膜结构进行微观表征,敏感薄膜表面平整,成膜均匀;最后对其进行气敏测试,当微热板工作在250 ℃时,打印的SnO2气敏薄膜对乙醇有良好的响应,检测到最低乙醇浓度为0.5×10-6,响应和恢复时间均在3 s左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学电子科学与技术学院集成电路技术辽宁省重点实验室	142	1281	17.0	29.0
2	余隽	大连理工大学电子科学与技术学院集成电路技术辽宁省重点实验室	37	252	7.0	14.0
3	吴昊	大连理工大学电子科学与技术学院集成电路技术辽宁省重点实验室	20	62	5.0	6.0
4	杨英花	大连理工大学电子科学与技术学院集成电路技术辽宁省重点实验室	1	5	1.0	1.0
5	李中洲	大连理工大学电子科学与技术学院集成电路技术辽宁省重点实验室	2	8	2.0	2.0