NTP发生器生成活性物质及发射光谱研究

• 作者: 徐辉 施蕴曦 李伟俊 李小华 蔡忆昔
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 低温等离子体 O3 NO2 发射光谱 能量密度
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 819-823
• 页数: 5页
• 分类号: O539|TK421
• 字数: 3280字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2017.04.008

摘要

对自行设计的NTP发生器进行了性能试验,研究了电学参量、气源对活性物质生成及发射光谱的影响.结果表明,活性物质主要为O3和NO2,且观测到明显的N2第2正带系谱峰.随着放电电压峰峰值或放电频率的升高,能量密度增大,O3和NO2浓度先增加后减小,N2第2正带系谱峰显著,光谱强度随之增大.随着气体流量增大,能量密度减小,O3和NO2浓度及光谱强度均呈先增后减的趋势.随着气源中O2含量增加,O3和NO2浓度增大,当O2含量为80%时,O3和NO2浓度分别超过20 000×10-6和10 000×10-6;光谱强度则逐渐减弱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡忆昔	江苏大学汽车与交通工程学院	172	1375	19.0	26.0
2	李小华	江苏大学汽车与交通工程学院	99	813	17.0	23.0
3	施蕴曦	江苏大学汽车与交通工程学院	31	91	5.0	9.0
4	徐辉	江苏大学汽车与交通工程学院	11	16	2.0	3.0
5	李伟俊	江苏大学汽车与交通工程学院	8	13	2.0	3.0