基于微波透射法的金属薄膜方块电阻测量理论及其应用

• 作者: 叶鸣 王露 贺永宁 赵小龙
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 矩形波导 金属纳米薄膜 透射系数 方块电阻
• 年，卷（期）: 2017,（20）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 302-311
• 页数: 10页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.208801

摘要

依据矩形波导基模的场分布表达式和电磁边界条件,解析推导了插入金属薄膜后的矩形波导透射系数,建立了考虑介质衬底影响的金属纳米薄膜微波透射系数仿真计算方法及其方块电阻的微波测量方法.运用全波电磁仿真方法对金属纳米薄膜方块电阻的微波测量装置进行了仿真验证,结果表明透射系数幅度与方块电阻的对数之间呈线性关系.采用磁控溅射工艺分别在高阻硅和玻璃两种介质衬底表面制备了不同方块电阻值的银薄膜,并测量其微波透射系数.实测结果表明,提出的方法适用于方块电阻阻值为0.05-0.5?/square的金属薄膜.研究结果对于微纳制造领域的导电薄膜方块电阻表征具有参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺永宁	西安交通大学微电子学院	58	265	9.0	12.0
2	叶鸣	西安交通大学微电子学院	22	99	6.0	9.0
3	赵小龙	西安交通大学微电子学院	9	25	3.0	4.0
4	王露	西安交通大学微电子学院	2	8	2.0	2.0