高性能SOI基Ge PIN波导光电探测器的制备及特性研究

• 作者: 李成 林海军 王尘 许怡红
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 外延 锗 波导 光电探测器
• 年，卷（期）: 2017,（19）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 320-326
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.198502

摘要

本文报道了在SOI衬底上外延高质量单晶Ge薄膜并制备高性能不同尺寸Ge PIN波导光电探测器.通过采用原子力显微镜、X射线衍射、拉曼散射光谱表征外延Ge薄膜的表面形貌、晶体质量以及应变参数,结果显示外延Ge薄膜中存在约0.2%左右的张应变,且表面平整,粗糙度为1.12 nm.此外,通过暗电流、光响应度以及3 dB带宽的测试来研究波导探测器的性能,结果表明尺寸为4μm×20μm波导探测器在?1 V的反向偏压下暗电流密度低至75 mA/cm2,在1.55μm波长处的响应度为0.58 A/W,在?2 V的反向偏压下的3 dB带宽为5.5 GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王尘	厦门理工学院光电与通信工程学院福建省光电技术与器件重点实验室	4	3	1.0	1.0
2	林海军	厦门理工学院光电与通信工程学院福建省光电技术与器件重点实验室	10	12	3.0	3.0
3	许怡红	厦门工学院电子信息工程系	3	3	1.0	1.0