基于CNTs/PDMS介电层的柔性压力传感特性研究

• 作者: 崔建利 张志东 赵学峰 闫树斌 高飞
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性压力传感器 "V"型平行板电极 MEMS PDMS
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 996-1000
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1827字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.07.004

摘要

提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法.采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS软光刻工艺在PDMS柔性基底上制备了具有"V"型阵列微结构的Ag薄膜平行板电极,基于碳纳米管(CNTs)/PDMS聚合物的压电容特性,制备出电容式柔性压力传感器.针对不同尺寸的压力传感器进行对比测试,本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到3.98% kPa-1,具有良好的重复性,在智能穿戴和电子皮肤等方面有着广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫树斌	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	33	65	5.0	6.0
2	崔建利	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	13	34	3.0	5.0
3	高飞	陆军西安军事代表局驻咸阳地区军事代表室	2	12	1.0	2.0
4	赵学峰	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	14	2.0	2.0
5	张志东	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	17	2.0	3.0