六自由度压电微动平台测量系统开发

• 作者: 焦振瑞
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 六自由度 微动平台 压电致动器 位置传感器 位移 正交度补偿
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 102-106
• 页数: 5页
• 分类号: TG803|TH741
• 字数: 2777字
• 语种: 中文

摘要

针对精密机械以及精密加工等领域需要纳米级的定位精度,开发出由三组二自由度高精度测量模组组成的六自由度压电微动平台.该平台通过NI软硬设备的有效整合,改变压电制动器移动量,调整微动平台六自由度实现定位.通过三组二自由度测量模组输出的二维光点坐标,测量六轴微动平台位移参数.同时对各模组的安装误差采用正角度补偿和雷射角度补偿,以满足平台高精度需求.经过综合测试表明,系统线性解析度达到10nm,角度解析度为0.1arcsec,系统位移跳动量0.022 μ,m,角度跳动量为0.06 arcsec,能达到即时精确定位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	焦振瑞		2	2	1.0	1.0