干涉条纹相位锁定系统分析及其控制

• 作者: 张鸣 朱煜 杨开明 王磊杰 胡楚雄 鲁森
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 相位锁定 声光调制器 实时控制 PID 频率调制
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1|O438.1
• 字数: 3601字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20174601.0123001

摘要

干涉条纹的相位变化与干涉条纹中某一固定点的光强密切相关,基于这一原理,通过对干涉场光强分析,提出并设计了一种用于干涉条纹相位锁定的控制系统.光电探测器检测干涉条纹中固定目标点的光强,并以该光强电压作为反馈控制信号,利用声光调制器对干涉系统中两束高斯光束中的一束进行实时频率调制,将光强电压控制在一个固定值,实现干涉条纹的相位锁定.构建了条纹锁定控制系统控制对象的理论模型,通过实验进行了验证,并基于该模型的特点设计了条纹锁定控制器.实验结果表明:在400 Hz的控制频率下,干涉条纹相位漂移不超过±0.04个条纹周期,满足干涉光刻的曝光需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨开明	清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室	44	664	15.0	25.0
2	朱煜	清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室	99	1312	17.0	33.0
3	张鸣	清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室	31	335	10.0	17.0
4	王磊杰	清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室	5	16	3.0	4.0
5	胡楚雄	清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室	3	9	2.0	3.0
6	鲁森	清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室	4	9	2.0	3.0