衍射光栅铝膜纳米压痕基底效应有限元模拟研究

• 作者: 张安坤 张宝庆 王占鹏 石广丰 郑志涛
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅铝膜 基底效应 有限元分析
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 制造软件
• 页码范围: 77-80
• 页数: 4页
• 分类号: TH164
• 字数: 2505字
• 语种: 中文

摘要

为探究衍射光栅铝膜基底效应对纳米压痕过程的影响,基于ABAQUS有限元分析软件,采用对比分析的方法,建立有基底铝膜和无基底铝膜模型,模拟纳米压痕的压入过程.结果表明,当出现基底效应后,有基底铝膜的回弹量比无基底铝膜小,隆起高度先比无基底铝膜小,之后大,载荷比无基底铝膜大,且基底效应逐渐变大.通过分析铝膜中基底效应对纳米压痕过程的影响,为衍射光栅铝膜力学性能研究提供了重要参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宝庆	长春理工大学机电工程学院	30	113	6.0	9.0
2	石广丰	长春理工大学机电工程学院	69	202	6.0	11.0
3	王占鹏	长春理工大学机电工程学院	3	3	1.0	1.0
4	张安坤	长春理工大学机电工程学院	1	1	1.0	1.0
5	郑志涛	长春理工大学机电工程学院	1	1	1.0	1.0