激光干涉仪在高精度垂直度检测中的应用

• 作者: 古志行 司卫征 郭文波
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 垂直度测量仪 垂直度 激光
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 91-93
• 页数: 3页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 1202字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2017.02.021

摘要

为检测用于测量直角尺、方尺等的高精度垂直度测量仪的垂直度,采用激光干涉仪为主要测量工具,以基准法测量高精度垂直度测量仪的垂直度.根据激光干涉仪测量直线度、垂直度的原理,结合分析软件,对垂直度的测量方法进行了介绍,实验结果表明,采用激光干涉仪测量垂直度的方法简明准确,较为直观、方便、高效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	司卫征		4	9	3.0	3.0
2	古志行		2	3	1.0	1.0
3	郭文波		5	6	2.0	2.0