超润滑石墨表面的光谱表征研究

• 作者: 刘秉琦 史云胜 杨兴
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 超润滑 光谱表征 拉曼光谱 红外光谱 石墨
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1513-1518
• 页数: 6页
• 分类号: O433.4
• 字数: 2653字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172506.1513

摘要

为探寻解决微/纳机电系统中摩擦和磨损等界面效应问题的理想新方法,研究了石墨接触界面对石墨超润滑的影响及阻力来源.首先,利用电子束曝光、反应离子束刻蚀等微加工方法制备了微米级石墨平台,并使用微纳机械手推动石墨平台获得了具有超润滑特性的石墨表面.然后使用拉曼光谱、纳米级红外光谱和原子力显微镜对获得的超润滑石墨表面进行表征.最后使用了能谱仪对石墨平台进行了微区元素分析.结果表明,超润滑石墨表面具有原子级光滑的平整度,并具有极高的有序度,而石墨表面的边缘具有多种缺陷并在加工过程中及大气环境中吸附了多种分子,边缘的氧原子含量比面内氧原子含量高出了24.2%.推动石墨平台的过程中,边缘吸附分子会阻碍超润滑石墨接触界面发生相对滑动,克服这些分子的吸附需要能量,这成为摩擦阻力的来源.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘秉琦	军械工程学院电子与光学工程系	106	576	12.0	17.0
2	史云胜	军械工程学院电子与光学工程系	9	22	3.0	4.0
6	杨兴	清华大学精密仪器系	15	120	3.0	10.0