衬底温度对碲化镉薄膜结构及光学性能的影响

• 作者: 刘辉 张翠媛 彭炳荣 杨恢东 王菁 陈玉玲
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 吸收层 CdTe薄膜 射频磁控溅射 衬底温度
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 页码范围: 2102-2106
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3176字
• 语种: 中文

摘要

碲化镉(CdTe)因具有良好的光电性能和吸收性能经常被作为太阳电池的吸收层材料.以纯度为99.99％的CdTe陶瓷靶为靶材在玻璃衬底上采用射频磁控溅射的方法制备了一系列的CdTe薄膜,研究了衬底温度对样品薄膜的厚度、结构和光学性能的影响.结果表明:随着衬底温度的增加薄膜的厚度在逐渐地减少;制备的薄膜都是立方闪锌矿结构且具有高度的(111)面择优取向;薄膜对可见光有较好的吸收性能,随衬底温度的增加而减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨恢东	暨南大学信息科学技术学院	28	154	7.0	11.0
5	刘辉	暨南大学信息科学技术学院	12	128	7.0	11.0
6	张翠媛	暨南大学信息科学技术学院	2	1	1.0	1.0
7	王菁	暨南大学信息科学技术学院	3	4	1.0	1.0
8	陈玉玲	暨南大学信息科学技术学院	1	1	1.0	1.0
9	彭炳荣	暨南大学信息科学技术学院	1	1	1.0	1.0