空间光调制器像素尺寸对非球面检测误差影响分析

• 作者: 刘世杰 张志刚 邵建达 马啸
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 非球面检测 空间光调制器 计算全息 菲涅耳衍射
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 206-212
• 页数: 7页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0104002

摘要

空间光调制器(SLM)可以在电驱动等信号控制下,实时调节振幅、相位、偏振态等信息,近年来已被尝试用于代替计算全息(CGH)板实现非球面检测.SLM 像素尺寸在3.5～20μm,远大于CGH板刻蚀分辨率,使得SLM的相位调制量在像素尺度离散化,与理想的连续相位存在误差,带来检测精度的降低.因此,有必要评估SLM 像素尺寸对检测精度的影响,从而选择合适像素尺寸的SLM.基于菲涅耳衍射原理以及快速傅里叶变换算法,仿真波面经SLM 调制并传播到待测表面的过程,并探究待测面处生成波面精度与SLM 像素尺寸大小之间的关系.对多组波面进行仿真并分析波面误差分布发现,SLM 生成补偿波面误差与SLM 像素尺寸所能表示的最大频率相关,检测时需保证SLM 像素尺寸所能表示的最大频率大于补偿波面频率最大值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	张志刚	中国科学院上海光学精密机械研究所	41	334	11.0	16.0
3	刘世杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	29	104	5.0	9.0
4	马啸	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	2	1.0	1.0