扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测

• 作者: 刘兆武 吕强 姜珊 宋莹 巴音贺希格 李文昊 李晓天
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 223-228
• 页数: 6页
• 分类号: TN247|TH741|O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0104004

摘要

为了提高二维工作台的定位精度,提出了一种在线检测二维工作台x 轴测量镜面形的方法.无需y 轴测量镜,利用三路激光干涉仪检测工作台x 轴测量镜的二次微分信息,对所得数据进行二次积分得到工作台测量镜的精确面形.分析了零点误差对工作台测量镜面形误差检测的影响,并提出了相应的校正方案.对所提出的方法进行了理论推导和实验验证,结果表明,所提方法的检测重复精度优于2.6521 nm,验证了该方法对工作台测量镜面形误差检测的正确性,并且可对工作台x 轴测量镜的面形误差进行实时补偿.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴音贺希格	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	112	817	16.0	23.0
2	李文昊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	144	7.0	11.0
3	李晓天	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	17	20	2.0	4.0
4	吕强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	51	3.0	7.0
5	姜珊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	132	6.0	11.0
6	宋莹	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	176	5.0	13.0
7	刘兆武	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	37	2.0	4.0