300mm IC的自动物料搬运系统电气控制系统设计与实现

• 作者: 刘丽 李学威 李静 陈睿
• 来源期刊: 组合机床与自动化加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 自动物料搬运系统 非接触供电 电气设计
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 控制与检测
• 页码范围: 119-122
• 页数: 4页
• 分类号: TH166|TG506
• 字数: 2534字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13462/j.cnki.mmtamt.2017.07.028

摘要

在集成电路(Integrated Circuit, IC)制造行业中,自动物料搬运系统(Automatic Material Handling System, AMHS)有效地提高了生产速度、缩短了生产周期,因此设计AMHS具有重要意义.文章分析了AMHS控制功能要求,确定了电气控制总体方案,进行了系统供配电方案设计,尤其是非接触供电,设计了关键设备的电气控制系统方案.通过分析实际装置的技术指标,表明所设计的300mm AMHS满足要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李静		6	7	2.0	2.0
2	刘丽		7	37	3.0	6.0
3	李学威		12	39	5.0	5.0
4	陈睿		1	5	1.0	1.0