基于玻璃基材的微流控芯片制造工艺

• 作者: 于兆勤 周兵高 张文斌 郭钟宁
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微流控芯片 玻璃 键合 湿法刻蚀
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 49-57
• 页数: 9页
• 分类号: TN405
• 字数: 7748字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2017.02.012

摘要

微流控芯片是一种由微通道形成的网络,集成了生物检测和化学分析领域中各种基本操作单元的微型实验室分析平台,可代替常规生物化学实验室,实现采样、分离、反应、检测、筛选、细胞培养等功能,结合一定的外部设备快速自动完成化学分析或生化分析全过程,具有集约化、微型化、自动化、高通量和速度快的特点.玻璃作为微流控芯片的重要基材,具有不与其他物质发生化学反应、电绝缘性和散热性良好、光学性能优良、具有较好的可修饰性的表面.通过对比,介绍了玻璃芯片的流道制作工艺,以及几种不同的键合方法原理及特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于兆勤		86	785	14.0	25.0
2	郭钟宁		197	1090	16.0	23.0
3	周兵高		2	7	1.0	2.0
4	张文斌		1	6	1.0	1.0