数字干涉仪移相器PZT位移测量与标定

• 作者: 于瀛洁 付烨 王圣文
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 移相器 PZT 非线性 位移测量 标定
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 33-35,37
• 页数: 4页
• 分类号: TU196+.4
• 字数: 2598字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15988/j.cnki.1004-6941.2017.10.015

摘要

干涉仪移相器的非线性会造成测量结果的不准确,因而对移相器非线性的测量和标定十分必要.本文提出了一种运用多普勒激光干涉仪测量PZT位移并进行标定的方法,该方法操作简单、结果精确,可以快速得到电压值与移相值的对应关系曲线,通过对曲线作非线性拟合并对电压值进行精密调整,完成移相器的精确标定.在改造后的干涉仪上对此标定方法进行验证,与Zygo干涉仪相比,相同元件下两者测量结果之差很小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学机电工程与自动化学院	80	791	16.0	24.0
2	付烨	上海大学机电工程与自动化学院	2	2	1.0	1.0
3	王圣文	上海大学机电工程与自动化学院	1	2	1.0	1.0