真空退火和氢退火对ZnO:B薄膜电学和光学性能的影响

• 作者: 刘石勇 唐鹿 李旺 罗哲 薛飞 郭鹏
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 低压化学气相沉积 导电率 透光率 退火气氛
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 页码范围: 2438-2442
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 3529字
• 语种: 中文

摘要

在玻璃衬底上采用低压化学气相沉积法制备了B掺杂的ZnO薄膜,研究了真空气氛和氢气气氛下不同退火温度对ZnO:B(BZO)薄膜电学性能和光学性能的影响.结果表明,两种不同退火气氛下进行退火处理,BZO薄膜性能发生相反的变化:真空气氛下退火时,BZO薄膜的导电能力随退火温度的提高而下降,但长波区的透光率却随之增加,这主要是由于真空退火后载流子浓度降低所致;而在氢气气氛下退火后,BZO薄膜载流子浓度基本保持不变,但Hall迁移率却显著提高,从而在保证透光率基本不变的前提下,使得BZO薄膜的导电能力得到显著提高,这可以为BZO薄膜光学和电学综合性能的协同优化提供一种有效方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐鹿	江西科技学院协同创新中心	15	18	2.0	4.0
2	薛飞	江西科技学院协同创新中心	8	4	1.0	2.0
3	李旺	江西科技学院协同创新中心	10	5	1.0	2.0
4	刘石勇		9	20	2.0	4.0
5	罗哲	江西科技学院协同创新中心	8	4	1.0	2.0
6	郭鹏	江西科技学院协同创新中心	4	3	1.0	1.0