分子泵领域专利初步分析及几项关键技术综述

• 作者: 孙玉帅
• 来源期刊: 现代制造技术与装备
• 关键词: 分子泵 专利 振动 蠕变
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 行业交流
• 页码范围: 162-165
• 页数: 4页
• 字数: 5629字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5587.2017.08.079

摘要

分子泵是半导体、真空镀膜等行业的基础关键设备,其技术和市场长期为国外巨头所垄断.本文针对其研发和应用中所存在的部分难点问题,包括泵体与轴承的散热、振动和噪声的抑制、转子叶片蠕变的控制等,通过专利分析的方法,从宏观上分析分子泵专利技术的发展历程、技术分布国别和主要的专利持有人,从微观上梳理了这些问题的现有解决方案.通过这些分析与整理,发现分子泵的专利技术主要集中在为数不多的行业巨头手中,围绕这些难点问题提出了一系列的技术方案,提出国内业者应重视现有技术的运用,直接使用进入公有领域的技术或在现有专利技术基础上进行研发,并学习行业巨头的专利布局经验,从而获得后发优势,在竞争中掌握话语权.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙玉帅		5	23	2.0	4.0