影响化学气相沉积多晶硅致密料比例的因素

• 作者: 杨丞杰 王世松 蔡永明
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 致密料 化学气相沉积 喷嘴布置 温度配比
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 探索应用
• 页码范围: 94-97
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2017.04.023

摘要

改良西门子法生产多晶硅还原工艺是高纯的三氯氢硅和氢气在还原炉内发生化学气相沉积反应,得到固态多晶硅,多晶硅根据表观质量,分为致密料、玉米料、珊瑚料.目前,国内多晶硅生产以大型还原炉为主,对成本控制具有明显优势,但存在的问题是多晶硅致密料比例较低.本文通过对还原炉反应温度控制、进料喷嘴布置、反应配比等因素的分析研究,得出了提高还原炉化学气相沉积多晶硅致密料比例的方法、思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王世松		4	6	2.0	2.0
3	蔡永明		4	3	1.0	1.0
5	杨丞杰		6	8	2.0	2.0