β-Si3N4涂层抗脱落性及对高效多晶硅性能的影响

• 作者: 李丽华 李新利 李永乐 李飞龙 黄金亮
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: β-Si3N4涂层 相转变 少子寿命 边缘红区 抗脱落性能
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 页码范围: 3271-3275
• 页数: 5页
• 分类号: TM615
• 字数: 2999字
• 语种: 中文

摘要

采用喷涂法分别制备以α-Si3N4粉和β-Si3N4粉为原料的坩埚内壁用氮化硅涂层,进行烧结和多晶硅铸锭,利用扫描电子显微镜分析铸锭前后涂层形貌、X射线衍射分析仪分析铸锭前后涂层物相、少子寿命测试仪检测硅锭少子寿命以及红区长度等.结果表明:与α-Si3N4涂层相比,β-Si3N4涂层铸锭后高温稳定性强,与石英坩埚结合牢固,几乎无脱落现象.铸锭后α-Si3N4涂层颗粒呈类球形、竖直堆垛于坩埚表面,而β-Si3N4涂层颗粒呈六方短柱体、平行叠加于坩埚表面,恰好垂直于杂质扩散方向,故更有利于阻挡杂质的扩散.在不显著影响少子寿命的基础上,β-Si3N4涂层坩埚铸成的硅锭边缘红区更短、成品率更高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄金亮	河南科技大学材料科学与工程学院	156	739	13.0	19.0
2	李丽华	河南科技大学材料科学与工程学院	43	63	3.0	5.0
3	李新利	河南科技大学材料科学与工程学院	23	18	2.0	2.0
4	李飞龙		3	1	1.0	1.0
5	李永乐	河南科技大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0