基于数字图像的光学元件表面缺陷检测

• 作者: 吕昊 王兰
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 光学元件 缺陷检测 图像降噪 边缘轮廓
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 激光检测系统与应用
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TN29
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2017.01.047

摘要

光学元件表面缺陷检测依赖高精密仪器配合人工检测,存在检测精度低的难题,为此提出基于数字图像特征分割和角点检测的光学元件表面缺陷检测算法.首先采用激光扫描方法采集光学元件表面图像,引入最小二乘匹配滤波方法降噪,然后通过纹理尺度自适应分割方法进行表面缺陷的边缘轮廓特征分割,结合Harris角点检测算法实现对表面缺陷检测.结果表明,提出的算法对光学元件表面缺陷检测轮廓分割和标识准确性高,准确检测概率高于传统算法.