有滞留时间约束的集束型装备在线调度方法

• 作者: 刁建华 卢睿 景雨 李林瑛 李绍华
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 在线调度 量子进化算法 集束型装备 半导体制造 滞留时间约束
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 仿真系统与技术
• 页码范围: 337-345
• 页数: 9页
• 分类号: TP241.2|TP278
• 语种: 中文
• DOI: 10.16182/j.issn1004731x.joss.201702014

摘要

针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了客户紧急订单、返工、新产品试制等临时晶圆到达时的在线调度问题,提出了不改变已有晶圆调度的前提下,利用资源空闲时间区间的两层在线调度方法.外层算法通过改进量子进化算法用以优化临时晶圆加工排序;内层算法在给定晶圆排序的基础上,采用后向逐级递推的策略从资源的空闲时间区间获得可行解,利用逆序最大逐级回溯策略在可行解空间获得晶圆的加工开始时间.通过不同规模测试问题上的仿真实验和算法比较,验证了提出方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李绍华	大连外国语大学软件学院	21	33	3.0	4.0
2	景雨	大连外国语大学软件学院	20	25	3.0	4.0
3	卢睿	辽宁警察学院公安信息系	11	22	3.0	4.0
4	李林瑛	大连外国语大学软件学院	16	35	4.0	5.0
5	刁建华	大连外国语大学软件学院	6	9	2.0	3.0