硬质合金刀具表面化学气相沉积TiC过程的控制

• 作者: 刘钰 章慧云
• 来源期刊: 铸造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质合金 化学气相沉积 TiC涂层
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 材料保护及表面工程
• 页码范围: 1895-1897
• 页数: 3页
• 分类号: TG142
• 语种: 中文
• DOI: 10.16410/j.issn1000-8365.2017.08.033

摘要

分析了硬质合金刀具化学气相沉积TiC涂层的基本工艺和设备,应用S7-200实现沉积过程反应物流量、温度等参数的可靠控制.应用表明,组建的S7-200控制系统精度高,能实现硬质合金TiC涂层的重复沉积,并通过PLC的程序控制,能较好的复现优质涂层的沉积工艺,实现对硬质合金刀具基体表面质量的改性控制.