我国碳化硅等第三代半导体材料制造设备取得新突破

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 第三代半导体材料 制造设备 碳化硅 先进制造技术 SIC材料 863计划 科技部 大尺寸
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 页码范围: 27-27
• 页数: 1页
• 分类号: TN364.2

摘要

10月24日从科技部获悉，近日，863计划先进制造技术领域“大尺寸SiC材料与器件的制造设备与工艺技术研究”课题通过了技术验收。