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摘要:
以B(CH3)3为掺杂剂,采用正交实验法,以硅烷浓度、B(CH3)3掺杂比、反应压强及气体总流量等主要沉积参数为实验组变量,对P型微晶硅薄膜进行初步优化.在玻璃衬底上沉积厚度为80 nm左右的P型微晶硅(μc-Si:H)薄膜,通过测试材料暗态电导率、XRD、Raman等,研究了上述沉积参数对材料电学和微结构性能的影响,并在此基础上做进一步的参数优化,得到更高电导的微晶硅薄膜;将其应用于PEN衬底的非晶硅薄膜太阳电池中,得到6%的初始效率.
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文献信息
篇名 P型微晶硅在柔性太阳电池中的应用研究
来源期刊 电源技术 学科 工学
关键词 P型微晶硅薄膜 B(CH3)3 柔性衬底 非晶硅太阳电池
年,卷(期) 2017,(7) 所属期刊栏目 研究与设计
研究方向 页码范围 1025-1027
页数 3页 分类号 TM914
字数 2199字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 袁铸 河南工业职业技术学院机电自动化学院 24 50 5.0 6.0
2 靳果 河南工业职业技术学院机电自动化学院 27 56 5.0 6.0
3 胡居涛 1 2 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
P型微晶硅薄膜
B(CH3)3
柔性衬底
非晶硅太阳电池
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电源技术
月刊
1002-087X
12-1126/TM
大16开
天津296信箱44分箱
6-28
1977
chi
出版文献量(篇)
9323
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56
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55810
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