高精度电容式MEMS加速度计系统设计

• 作者: 丛宁 李宗伟 杨燕 熊兴崟 辛维 韩可都
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 Σ-Δ 模/数转换器 数字环路滤波器 过采样平均
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 98-101,104
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|TN432
• 字数: 1985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2017)06-0098-04

摘要

在传统Σ-Δ架构基础上,引入了低精度高速模/数转换器(ADC),将前置放大器输出的模拟电压信号转换为数字信号,有利于简化电容式微电子机械系统(MEMS)加速度计系统模拟接口电路设计.在嵌入ADC的MEMS加速度系统中,采用过采样平均数字算法对信号进行估计,有效降低系统对前置放大器噪声性能的需求,利于实现低功耗和高精度的设计目标.仿真结果表明:与未采用过采样平均技术相比,当前置放大器输出等效噪声大于1μV/Hz时,系统的信噪比(SNR)提高了约10dB.