多晶硅生产废气回收处理工艺研究进展

• 作者: 任玖阳 周万礼 李友才 王金 罗平
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 地球科学
• 关键词: 多晶硅生产 废气回收 研究进展
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺设备及电器
• 页码范围: 109-111
• 页数: 3页
• 分类号: X76
• 字数: 2374字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2017.05.030

摘要

阐述了多晶硅生产废气主要来源、组分、处理工艺及研究进展,提出了生产高品质多晶硅可选择的废气处理工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李友才	昆明冶研新材料股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室	1	4	1.0	1.0