面向微电子应用的二维过渡金属硫族化合物制备进展

• 作者: 包文中 周鹏 廖付友 张卫 许浒 郭仲勋 郭晓娇
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 二维层状材料/二维原子晶体 过渡金属硫族化合物 二硫化钼 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2017,（36）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 4237-4255
• 页数: 19页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N972017-00851

摘要

二维原子晶体材料所独有的结构特性带来了诸多优异的性质.与石墨烯相比,二维过渡金属硫族化合物(TMDs)拥有不同大小且可调控的带隙,在微电子和光电器件领域有着广阔的应用前景.本文对二维TMDs材料“自上而下”和“自下而上”的制备方法进行了总结,对比了机械剥离、液相剥离和化学气相沉积等常见制备技术,并归纳了各自的优缺点.同时基于未来晶圆级二维TMDs器件,重点介绍了化学气相沉积法及其面向应用需要解决的问题.最后总结了二维TMDs材料在微电子器件应用中的研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周鹏		29	91	4.0	9.0
2	张卫		43	271	10.0	14.0
3	许浒		1	0	0.0	0.0
4	廖付友		1	0	0.0	0.0
5	郭仲勋		1	0	0.0	0.0
6	郭晓娇		1	0	0.0	0.0
7	包文中		1	0	0.0	0.0