300mm硅片高精度真空传输系统设计

• 作者: 何书龙 李学威 赵治国
• 来源期刊: 组合机床与自动化加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片传输 真空腔室 机械手 纠偏检测系统
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 控制与检测
• 页码范围: 80-84
• 页数: 5页
• 分类号: TH166|TG659
• 字数: 3365字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13462/j.cnki.mmtamt.2017.08.020

摘要

文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求.其中硅片传输腔室采用真空设计,并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输,真空度可达2×10-7Torr.真空机械手采用对称连杆直驱机械手,大气机械手采用R-θ型机械手,其重复精度均为±0.1mm.设计了AWC纠偏检测系统,利用光电对射传感器,实现对硅片的实时检测及位置纠正.通过验证性试验数据分析,得到整个系统的整体精度、洁净度、真空度和真空变化值满足工作要求,验证了设计的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何书龙		6	18	2.0	4.0
2	李学威		12	39	5.0	5.0
3	赵治国		1	0	0.0	0.0