基于杂散光抑制要求的光学表面粗糙度控制方法研究

• 作者: 宋延松 李福 杨建峰 王红 马小龙
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 表面粗糙度 杂散光 全积分散射 双向散射分布函数
• 年，卷（期）: 2017,（19）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 76-85
• 页数: 10页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.194201

摘要

光学表面加工误差引起的散射是影响光学系统成像性能的重要因素.描述表面总散射能量的均方根粗糙度是评定光学表面粗糙度的通用指标,但因其未能体现散射能量的空间分布,在表征光学表面散射对具体光学系统杂散光性能影响时存在准确度不足的局限.本文基于全积分散射及双向散射分布函数理论,针对杂散光抑制要求提出一种光学表面粗糙度控制的新方法.首先通过分析确定光学表面纹理中影响系统杂散光的空间频率范围,然后度量该频率带限范围内的表面均方根粗糙度,作为控制光学表面粗糙度的指标.以太阳磁场望远镜(MFT)为例进行方法验证,确定主镜表面纹理有效频率范围为0—18 mm?1,分析了主镜表面带限均方根粗糙度对MFT杂散光性能的影响.结果表明,带限均方根粗糙度与MFT杂散光性能之间的关系稳定性能大幅提高,由此验证了采用带限均方根粗糙度描述光学表面粗糙度,能更为准确地控制其对具体光学系统杂散光性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李福	中国科学院西安光学精密机械研究所	18	194	7.0	13.0
2	王红	中国科学院西安光学精密机械研究所	125	1755	25.0	35.0
6	杨建峰	中国科学院西安光学精密机械研究所	97	1262	20.0	30.0
7	马小龙	中国科学院西安光学精密机械研究所	26	274	11.0	16.0
8	宋延松	中国科学院西安光学精密机械研究所	3	7	2.0	2.0