非平衡磁控溅射沉积Ti-N薄膜色彩和性能调控研究

• 作者: 严晟硕 叶崇晖 李安锁 祝超越 章陵 鲍明东 鲍晓晅
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 Ti-N薄膜 氮气流量 溅射电流 偏压 薄膜颜色
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 专题——硬质薄膜与涂层技术
• 页码范围: 168-173
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.442
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.026

摘要

目的 研究Ti-N薄膜颜色和硬度及其结合强度的影响因素.方法 利用封闭磁场非平衡磁控溅射离子镀膜技术,该变溅射偏压、氮气流量等参数,分别在304不锈钢基体和载玻片基体上沉积多彩Ti-N薄膜.用努氏硬度、划痕法和球坑法分别评价Ti-N薄膜的显微硬度和结合强度等性能.结果 当偏压和溅射电流分别为60 V和2 A时,将反应气体氮气流量从3sccm逐渐增加到20sccm,Ti-N薄膜颜色依次发生从"淡黄-金黄-红黄-紫红-金黄"的循环变化趋势.薄膜的硬度随氮气流量的增加在601~700HK之间呈逐步上升的趋势.膜基结合普遍较好.当氮气流量和溅射电流分别为10sccm和2 A时,将负偏压从50 V逐渐增加到120 V,薄膜颜色从淡黄色变成金黄色,膜基结合强度较好.硬度随偏压的增加变化不明显.结论 影响Ti-N薄膜颜色的主要因素为氮气流量,偏压也可以轻微地改变薄膜颜色,但对薄膜性能影响并不明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严晟硕	宁波工程学院材料与化学工程学院	1	2	1.0	1.0
2	李安锁	宁波工程学院材料与化学工程学院	1	2	1.0	1.0
3	祝超越	宁波工程学院材料与化学工程学院	2	2	1.0	1.0
4	叶崇晖	宁波工程学院材料与化学工程学院	1	2	1.0	1.0
5	章陵	宁波工程学院材料与化学工程学院	1	2	1.0	1.0
6	鲍晓晅	宁波工程学院材料与化学工程学院	2	2	1.0	1.0