研磨工艺对提升面板良率的影响的研究

• 作者: 盛科
• 来源期刊: 名城绘
• 学科: 工学
• 关键词: 研磨 参数
• 年，卷（期）: mch_2017,（10）
• 页码范围: 79-80
• 页数: 2页
• 分类号: TN873.93

摘要

随着液晶显示技术的迅速发展，薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器(TFT-LCD)已经成为信息显示领域的主导技术，其占据高端平板显示器的份额正在迅速增加，但是液晶面板的制造还存在工艺工程复杂性、良品率不太高等缺点。研磨工艺的好坏直接决定了良率的优劣，本文主要讨论常见的研磨不良、影响研磨的常见因素以及研磨参数对研磨效果的研究。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	盛科		2	0	0.0	0.0