正弦波激励过程中无阀压电微泵流量的研究

• 作者: 关炎芳 张卓 李祥 田勇
• 来源期刊: 科技创新与生产力
• 关键词: 微泵 微电子机械系统 MEMS 聚二甲基硅氧烷 PDMS 流量测试 频率
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 88-90
• 页数: 3页
• 分类号: TP21|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-9146.2017.08.088

摘要

介绍了无阀压电微泵的概念和微泵的研究背景,指出无阀压电微泵是通过在压电陶瓷驱动器上通入规律性变化的电流来使其产生规律性振动从而产生连续流动的微泵,针对无阀压电微泵的特性,设计了一种PDMS-玻璃-PDMS的无阀压电微泵结构.通过实验数据分析结果可知:在同一电压下,无阀压电微泵的流量随频率的增加而呈抛物型形状,在频率为300 Hz的情形下达到最大流量;无论电压如何变化,无阀压电微泵的流量随频率的变化规律明显;在其他条件相同的情况下,无阀压电微泵的流量和电压之间存在一定的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	关炎芳	河南工业大学机电工程学院	9	21	2.0	4.0
2	田勇	河南工业大学机电工程学院	44	179	7.0	11.0
3	张卓	河南工业大学机电工程学院	1	2	1.0	1.0
4	李祥	河南工业大学机电工程学院	1	2	1.0	1.0