Zr掺杂类金刚石薄膜摩擦性能及耐腐蚀性能的影响

• 作者: 孙德恩 曾宪光 陈美容 黄佳木
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: Zr掺杂类金刚石膜 显微结构 硬度 结合力 摩擦性能 腐蚀性能
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 专题——硬质薄膜与涂层技术
• 页码范围: 138-142
• 页数: 5页
• 分类号: TG172.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.021

摘要

目的 改善不锈钢摩擦性能及耐腐蚀性能.方法 通过线性阳极层离子源辅助非平衡磁控溅射法,制备了不同Zr含量的类金刚石(DLC)薄膜,采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、纳米硬度仪、高温销盘磨损仪、电化学工作站,对薄膜的化学成分、显微结构、纳米硬度、薄膜摩擦性能及耐腐蚀性能进行测试研究.结果 随着Zr靶功率的增大,Zr含量线性增加.Zr含量从4.9%增加至16.3%时,ID/IG增大,薄膜硬度从12.1 GPa逐渐下降至8.4 GPa;Zr含量增大至21.2%时,ID/IG减小,薄膜硬度增大至11.4 GPa.涂镀类金刚石薄膜的不锈钢基体比无涂层的不锈钢基体有更低的摩擦系数,更好的耐磨损性能.Zr掺杂DLC薄膜的最小摩擦系数为0.07.Zr含量从4.9%增加至16.3%,DLC薄膜的耐腐蚀性能减弱;Zr含量继续增加,DLC薄膜的耐腐蚀性能增强.当Zr含量不大于11.9%时,沉积Zr掺杂DLC膜的不锈钢基体的耐腐蚀性能比不锈钢基体的更强.结论 Zr含量不大于11.9%时,Zr掺杂类金刚石薄膜既可以有效地改善不锈钢基体的摩擦磨损性能,又可以大幅提高耐腐蚀性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾宪光	四川理工学院材料腐蚀与防护四川省重点实验室	59	427	10.0	18.0
2	黄佳木	重庆大学材料科学与工程学院	84	690	13.0	20.0
3	孙德恩	重庆大学材料科学与工程学院	11	62	6.0	7.0
4	陈美容	重庆大学材料科学与工程学院	1	10	1.0	1.0