硬质多元氮化物薄膜研究进展

• 作者: 于宝海 于海涛 刘占奇 徐丽 赵升升 赵彦辉
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质多元氮化物薄膜 组织结构 硬度 韧性 强韧化机制
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 专题——硬质薄膜与涂层技术
• 页码范围: 102-109
• 页数: 8页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.016

摘要

综述了硬质多元氮化物薄膜的研究进展,主要是从硬质薄膜的发展历程上,介绍了每一代薄膜的产生及其特点.同时介绍了硬质多元氮化物薄膜的结构及其性能特点.着重从如何提高薄膜硬度和韧性方面进行了详细介绍,对几种硬化机制进行了论述,包括晶粒细化、晶界强化、固溶强化及离子轰击/应力硬化.同时还介绍了提高薄膜韧性的方法,包括引入一个韧性相(包括金属相)、利用相变韧化、引入压应力韧化、优化涂层结构等.同时还指出,硬度和韧性都是硬质薄膜获得实际应用的重要指标.单纯追求高硬度或高韧性是不可取的,因为硬质薄膜一般脆性较大,而韧性好的薄膜却缺乏足够的硬度.从工程应用的角度来说,既要得到较高的硬度,而且韧性不能损失太多.最后指出,今后的发展方向要将硬化和韧性的研究集中在纳米尺度上,即如何在纳米尺度上进一步理解薄膜的变形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐丽	中国科学院金属研究所	36	274	10.0	16.0
2	于宝海	中国科学院金属研究所	23	138	6.0	11.0
3	于海涛		20	23	3.0	4.0
4	赵升升		15	22	3.0	4.0
5	赵彦辉	中国科学院金属研究所	20	60	5.0	6.0
6	刘占奇	中国科学院金属研究所	4	9	2.0	3.0