氩氧流量比对CeOx-SnOx膜微观结构及光学性能的影响

• 作者: 冯建 姜宏 王红燕 蔡思翔 那聪
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控反应共溅射 CeOx-SnOx薄膜 氩氧流量比 紫外截止
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 861-866,873
• 页数: 7页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3729字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控反应共溅射的方法,以金属Ce和Sn为金属源,成功地制备出CeOx-SnOx薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)等测试手段对薄膜的结构、表面形貌及成分进行了分析和表征.结果表明薄膜以岛状模式生长,随氩氧比降低,结晶性增强,出现CeO2和SnO相.此外,利用紫外-可见分光光度计对薄膜的光学性能进行了研究,测试结果表明薄膜对紫外光有极强的吸收作用.当氩氧流量比为3∶1时,紫外光平均透过率仅为5.80%,而可见光平均透过率为81.48%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	那聪	海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
2	蔡思翔	海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
3	冯建	海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	王红燕	海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室	3	0	0.0	0.0