含多孔硅层的波导耦合光栅纳米异质结构的折射率传感机理

• 作者: 刘晓飞 朱奇光 李少华 田亚宁 翟应俭 赵志勇 陈颖
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 传感器 波导耦合光栅 折射率 多孔硅
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 遥感与传感器
• 页码范围: 236-242
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.1010003

摘要

基于波导耦合光栅的共振原理和多孔硅的光学传感特性,提出一种含多孔硅层的波导耦合光栅纳米异质结构的折射率传感模型.根据古斯-汉欣(Goos-H(a)nchen)位移理论和波导耦合光栅共振的相位匹配条件,建立共振波长与待测样本折射率之间的关系模型,并分析了折射率传感结构的折射率传感特性.利用多孔硅高效的承载机制,将其作为待测样本承载单元,选用不同浓度的乙二醇溶液作为待测样本,对该折射率传感结构的灵敏度和品质因数Q进行分析.结果表明,该折射率传感结构对乙二醇溶液的灵敏度为2.2 nm/l％,Q值为226,证明了该传感结构的有效性,它可实现对低浓度待测样本的检测.