Ni80Cr20合金薄膜制备影响因素的试验研究

• 作者: 刘丽娟 安春华 成云平 李学瑞 武文革 隋安平
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 直流磁控溅射 镍铬薄膜 溅射参数
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.4|TH161|TB34
• 字数: 2480字
• 语种: 中文

摘要

利用直流磁控溅射的方法制备Ni80Cr20合金薄膜,以氩气流量、氩气工作压强、溅射功率作为三因素进行正交试验,在溅射时间相同的条件下分别测试了薄膜厚度、表面粗糙度、电阻率并进行了极差分析.分析结果表明:在一定范围内,氩气工作压强与溅射功率对薄膜厚度的影响较大;在氩气工作压强为3.0Pa时,薄膜厚度与溅射功率近似成正比关系;随着氩气流量的增大,Ni80Cr20薄膜厚度呈现先增大后减小的趋势;在氩气流量为50cm3/min时,薄膜厚度达到最大值;各因素对薄膜表面粗糙度及电阻率影响不明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武文革		68	346	11.0	16.0
2	成云平		21	71	5.0	7.0
3	刘丽娟		22	128	5.0	10.0
4	李学瑞		7	38	4.0	6.0
5	安春华		4	19	3.0	4.0
6	隋安平		3	12	3.0	3.0