铝基板表面微弧氧化膜厚度对其导电导热性的影响

• 作者: 孙万昌 张博 张菊梅 张阳 蔡辉
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铝基板 氧化铝 微弧氧化 膜厚 电阻率 热扩散系数
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 专题——轻合金微弧氧化技术
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.05.005

摘要

目的 对LED封装用铝基板表面进行微弧氧化处理,用以调控其界面的导电导热行为,并构建微弧氧化膜的厚度与其导电性及导热性之间的关联性.方法 采用XRD表征了不同厚度微弧氧化膜的相结构,借助SEM观察了不同厚度膜层的表面微观形貌,利用高阻计测试了不同外加电压下膜层的电阻率,采用闪光法测定了不同温度下膜层的热扩散系数.结果 微弧氧化膜主要由γ-Al2O3相组成,随膜层厚度的增加,膜层的相结构无显著变化,但其表面多孔结构出现了明显变化.膜层电阻率随膜厚的增大而升高,在膜厚从10μm增至40μm的过程中,电阻率增大了4~8倍.膜层电阻率随测试电压的升高而降低,当测试电压从50 V升至100 V时,电阻率降幅达1~2个数量级.膜层的热扩散系数随膜厚的增大出现波动,当膜厚为10~40μm时,热扩散系数的变化量为21.6~24.8 m2/s.膜层热扩散系数随测试温度的升高而降低,降幅最高可达8.9 m2/s.结论 厚度为40μm的微弧氧化膜既具有高的电阻率(7.1×1012?·cm),又具有高的热扩散系数(98.0 m2/s),有望满足LED铝基板的界面绝缘与散热要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙万昌	西安科技大学材料科学与工程学院	20	103	6.0	8.0
2	张博	西安科技大学材料科学与工程学院	5	13	2.0	3.0
3	张菊梅	西安科技大学材料科学与工程学院	24	358	9.0	18.0
4	蔡辉	西安科技大学材料科学与工程学院	9	23	4.0	4.0
5	张阳	西安科技大学材料科学与工程学院	7	17	2.0	4.0