基于响应曲面法的溅射沉积薄膜工艺参数优化

• 作者: 刘丽娟 孟萌 张勇 成云平 武文革 隋安平
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜传感器 溅射速率 响应曲面法 参数优化
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.4|TH161|TB34
• 字数: 2035字
• 语种: 中文

摘要

为了研制出适用于高温等恶劣环境且性能优良的用于切削力测量的合金薄膜传感器,结合新型合金薄膜材料的基本性能和离子束、磁控溅射技术,研究了新型薄膜传感器的制作工艺,建立了影响薄膜溅射速率的试验分析模型,研究了氩气流量、氩气工作压强及溅射功率三个因素对薄膜溅射速率的影响,应用响应曲面法对模型进行了优化,并运用方差分析检验了该预测模型的拟合度,建立了溅射速率的等值线和响应面,从而确定了各因素的最佳水平范围,实现了工艺参数的优化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武文革		68	346	11.0	16.0
2	成云平		21	71	5.0	7.0
3	张勇		19	118	5.0	10.0
4	刘丽娟		22	128	5.0	10.0
5	孟萌		1	4	1.0	1.0
6	隋安平		3	12	3.0	3.0