基于纳秒激光的316L不锈钢直写微细沟槽实验研究

• 作者: 吕宋 周兵高 张会 郭钟宁
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微通道 激光加工 纳秒激光 表面质量
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 加工技术与机床
• 页码范围: 41-47
• 页数: 7页
• 分类号: TG665
• 字数: 3823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2017.04.012

摘要

针对在几十微米尺度下纳秒激光直写法制造微流道的问题,研究纳秒激光加工工艺参数与微流道宽度和深度的关系,利用光纤激光器在316L不锈钢上进行微流道直写实验研究,得到了激光功率、扫描速度、激光频率、激光重复次数与微流道尺寸形貌的关系.实验结果表明,当激光功率为16W,扫描速度200 mm/s,频率为40 kHz,脉冲宽度为30 ns时,实验结果最好,该参数为最佳激光工艺参数范围.同时,验证了小能量激光表面浅熔机理对沟槽底部抛光的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁		197	1090	16.0	23.0
2	张会		2	1	1.0	1.0
3	吕宋		1	1	1.0	1.0
4	周兵高		2	7	1.0	2.0